ÜBERBLICK
19. Februar 2024
NAVIGATOR 1100LL
19. Februar 2024
ÜBERBLICK
19. Februar 2024
NAVIGATOR 1100LL
19. Februar 2024

NAVIGATOR 1100

NAVIGATOR 1100 Load-Lock ist der Star unter den NAVIGATOR 1100 Systemen und beliebt bei Industriefirmen. Mit dem Load-Lock Transfersystem können mehrere Beschichtungsserien hintereinander  gefertigt werden ohne das Belüften der Beschichtungskammer. Dadurch wird eine Menge Zeit und Kosten gespart, was die Produktivität zusätzlich erhöht.

Standardkonfiguration

Kammervolumen1100 l
Vorpumpe (Trockenpumpen)70 m³/h
Hochvak. Pumpe (N2)10000 l/s (Prozesskammer)
IonenquellentypHF-gekoppelt (2 MHz), filamentfrei, inertgas- und O2-fähig
Extraktionsgitter / Ausgabe3 Gitter, 15 cm Durchmesser, bis 2 kV, 750mA

Assist Plasma QuelleHF-gekoppelte (2 MHz) Quellen, filamentfrei, bis zu 300 V, 500 mA Ausgang
Assist Source GaseGeeignet für Inertgase und O2
NeutralisationHF-Neutralisatoren, bis zu 1000 mA Elektronenstrom
Ziele4 Materialien (Metall/Oxid), die zwei Zonenziele bilden
Substratpaletten
Ø 450 mm Platten
Gleichmäßige BeschichtungsflächeØ 400 mm mit einer Gleichmäßigkeit von besser 1 %, keine Masken
SubstratbewegungEinzelrotationssystem, bis zu 120 U/min
Optische ÜberwachungBreitband-VIS/NIR-Spektrometer, vollständig integriertes Design
Mechanische KonstruktionKammertür und Bedienfeld können im Reinraum untergebracht werden
Elektrisches DesignPeripherie-I/O-Klemmen, integriertes Bussystem
KontrollsystemPC/SPS-Steuerung mit HMI-Systemen auf Touchpanel-Display

Systemoptionen

Optische Mo. DUV-UpgradeZusätzliches DUV-Spektrometer, vollständig integriertes Design
Optische Mo. IR-UpgradeZusätzliches IR-Spektrometer, vollständig integriertes Design
Einheitlichkeit mit Maske0,1 % Gleichmäßigkeit mit aufrüstbaren Masken
Überwachung der DickeQuarzkristall-Überwachungssystem optional
Zwei-Substrat-Platte„PUKI“-System mit zwei Ø350mm-Platten
Monitor Glasses Changer Chipwechsler für bis zu sechs Testsubstrate für extrem dicke Filter