NAVIGATOR 1100
19. Februar 2024
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NAVIGATOR 1100LL
NAVIGATOR 1100 Load-Lock ist der Star unter den NAVIGATOR 1100 Systemen und beliebt bei Industriefirmen. Mit dem Load-Lock Transfersystem können mehrere Beschichtungsserien hintereinander gefertigt werden ohne das Belüften der Beschichtungskammer. Dadurch wird eine Menge Zeit und Kosten gespart, was die Produktivität zusätzlich erhöht.
Standardkonfiguration
| Kammervolumen | 1100 l |
| Vorpumpe (Trockenpumpen) | 70 m³/h |
| Hochvak. Pumpe (N2) | 10.000 l/s (Prozesskammer), 13.000 l/s (Schleusenkammer) |
| Ionenquellentyp | HF-gekoppelt (2 MHz), filamentfrei, inertgas- und O2-fähig |
| Extraktionsgitter / Ausgabe | 3 Gitter, 15 cm Durchmesser, bis 2 kV, 750mA |
| Assist Plasma Quelle | HF-gekoppelte (2 MHz) Quellen, filamentfrei, bis zu 300 V, 500 mA Ausgang |
| Assist Source Gase | Geeignet für Inertgase und O2 |
| Neutralisation | HF-Neutralisatoren, bis zu 1000 mA Elektronenstrom |
| Ziele | 4 Materialien (Metall/Oxid), die zwei Zonenziele bilden |
| Substratpaletten | Ø 350 mm Substrate |
| Gleichmäßige Beschichtungsfläche | Ø 350 mm mit einer Gleichmäßigkeit von besser 1 %, keine Masken |
| Substratbewegung | Einzelrotationssystem, bis zu 120 U/min |
| Optische Überwachung | Breitband-VIS/NIR-Spektrometer, vollständig integriertes Design |
| Mechanische Konstruktion | Kammertür und Bedienfeld können im Reinraum untergebracht werden |
| Elektrisches Design | Peripherie-I/O-Klemmen, integriertes Bussystem |
| Kontrollsystem | PC/SPS-Steuerung mit HMI-Systemen auf Touchpanel-Display |
Systemoptionen
| Optische Mo. DUV-Upgrade | Zusätzliches DUV-Spektrometer, vollständig integriertes Design |
| Optische Mo. IR-Upgrade | Zusätzliches IR-Spektrometer, vollständig integriertes Design |
| Einheitlichkeit mit Maske | 0,1 % Gleichmäßigkeit mit aufrüstbaren Masken |
| Überwachung der Dicke | Quarzkristall-Überwachungssystem optional |
| Monitor Glasses Changer | Chipwechsler für bis zu sechs Testsubstrate für extrem dicke Filter |