NAVIGATOR 1100 LL
13. 5 月 2024NAVIGATOR 1100 LL
13. 5 月 2024
NAVIGATOR 2100
NAVIGATOR 2100 ist das next-generation IBS-Beschichtungssystem. Sein besonderes Merkmal sind die zwei D600mm Substratpaletten, von denen jeder Substrathalter Substrate tragen kann, die mehr als 100 kg wiegen. Dies macht das Beschichten von großflächigen Substraten möglich und vergrößert die Produktivität um ein Vielfaches.
Standardkonfiguration
| Kammervolumen | 2100 l |
| Vorpumpe (Trockenpumpen) | 70 m³/h |
| Hochvak. Pumpe (N2) | 10000 l/s |
| Ionenquellentyp | HF-gekoppelt (2 MHz), filamentfrei, inertgas- und O2-fähig |
| Extraktionsgitter / Ausgabe | 3 Gitter, 15 cm Durchmesser, bis 2 kV, 750mA |
| Assist Plasma Quelle | HF-gekoppelte (2 MHz) Quellen, filamentfrei, bis zu 300 V, 500 mA Ausgang |
| Assist Source Gase | Geeignet für Inertgase und O2 |
| Neutralisation | HF-Neutralisatoren, bis zu 1000 mA Elektronenstrom |
| Ziele | 4 Materialien (Metall/Oxid), die zwei Zonenziele bilden |
| Substratpaletten | 2 x Ø 620 mm Substrate |
| Gleichmäßige Beschichtungsfläche | Ø 600 mm mit einer Gleichmäßigkeit von besser 1 %, keine Masken |
| Substratbewegung | Einzelrotationssystem, bis zu 120 U/min |
| Optische Überwachung | Breitband-VIS/NIR-Spektrometer, vollständig integriertes Design |
| Mechanische Konstruktion | Kammertür und Bedienfeld können im Reinraum untergebracht werden |
| Elektrisches Design | Peripherie-I/O-Klemmen, integriertes Bussystem |
| Kontrollsystem | PC/SPS-Steuerung mit HMI-Systemen auf Touchpanel-Display |
Systemoptionen
| Optische Mo. DUV-Upgrade | Zusätzliches DUV-Spektrometer, vollständig integriertes Design |
| Optische Mo. IR-Upgrade | Zusätzliches IR-Spektrometer, vollständig integriertes Design |
| Einheitlichkeit mit Maske | 0,1 % Gleichmäßigkeit mit aufrüstbaren Masken |
| Überwachung der Dicke | Quarzkristall-Überwachungssystem optional |
| Schwerlast-Substrat-Upgrade | Schwerlast-Substrathalter (jeweils >200 kg Tragkraft) |