Navigator 1100
13. 5 月 2024
NAVIGATOR 2500
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NAVIGATOR 1100LL

NAVIGATOR 1100 Load-Lock ist der Star unter den NAVIGATOR 1100 Systemen und beliebt bei Industriefirmen. Mit dem Load-Lock Transfersystem können mehrere Beschichtungsserien hintereinander  gefertigt werden ohne das Belüften der Beschichtungskammer. Dadurch wird eine Menge Zeit und Kosten gespart, was die Produktivität zusätzlich erhöht.

Standardkonfiguration

Kammervolumen1100 l
Vorpumpe (Trockenpumpen)70 m³/h
Hochvak. Pumpe (N2)10.000 l/s (Prozesskammer), 13.000 l/s (Schleusenkammer)
IonenquellentypHF-gekoppelt (2 MHz), filamentfrei, inertgas- und O2-fähig
Extraktionsgitter / Ausgabe3 Gitter, 15 cm Durchmesser, bis 2 kV, 750mA
Assist Plasma QuelleHF-gekoppelte (2 MHz) Quellen, filamentfrei, bis zu 300 V, 500 mA Ausgang
Assist Source GaseGeeignet für Inertgase und O2
NeutralisationHF-Neutralisatoren, bis zu 1000 mA Elektronenstrom
Ziele4 Materialien (Metall/Oxid), die zwei Zonenziele bilden
Substratpaletten
Ø 350 mm Substrate
Gleichmäßige BeschichtungsflächeØ 350 mm mit einer Gleichmäßigkeit von besser 1 %, keine Masken
SubstratbewegungEinzelrotationssystem, bis zu 120 U/min
Optische ÜberwachungBreitband-VIS/NIR-Spektrometer, vollständig integriertes Design
Mechanische KonstruktionKammertür und Bedienfeld können im Reinraum untergebracht werden
Elektrisches DesignPeripherie-I/O-Klemmen, integriertes Bussystem
KontrollsystemPC/SPS-Steuerung mit HMI-Systemen auf Touchpanel-Display

Systemoptionen

Optische Mo. DUV-UpgradeZusätzliches DUV-Spektrometer, vollständig integriertes Design
Optische Mo. IR-UpgradeZusätzliches IR-Spektrometer, vollständig integriertes Design
Einheitlichkeit mit Maske0,1 % Gleichmäßigkeit mit aufrüstbaren Masken
Überwachung der DickeQuarzkristall-Überwachungssystem optional
Monitor Glasses Changer Chipwechsler für bis zu sechs Testsubstrate für extrem dicke Filter