NAVIGATOR 1100LL
28. April 2024
NAVIGATOR 1100LL
28. April 2024

NAVIGATOR 2100

NAVIGATOR 2100 ist das next-generation IBS-Beschichtungssystem. Sein besonderes Merkmal sind die zwei D600mm Substratpaletten, von denen jeder Substrathalter Substrate tragen kann, die mehr als 100 kg wiegen. Dies macht das Beschichten von großflächigen Substraten möglich und vergrößert die  Produktivität um ein Vielfaches.

Standardkonfiguration

Kammervolumen2100 l
Vorpumpe (Trockenpumpen)70 m³/h
Hochvak. Pumpe (N2)10000 l/s
IonenquellentypHF-gekoppelt (2 MHz), filamentfrei, inertgas- und O2-fähig
Extraktionsgitter / Ausgabe3 Gitter, 15 cm Durchmesser, bis 2 kV, 750mA

Assist Plasma QuelleHF-gekoppelte (2 MHz) Quellen, filamentfrei, bis zu 300 V, 500 mA Ausgang
Assist Source GaseGeeignet für Inertgase und O2
NeutralisationHF-Neutralisatoren, bis zu 1000 mA Elektronenstrom
Ziele4 Materialien (Metall/Oxid), die zwei Zonenziele bilden
Substratpaletten
2 x Ø 620 mm Substrate
Gleichmäßige BeschichtungsflächeØ 600 mm mit einer Gleichmäßigkeit von besser 1 %, keine Masken

SubstratbewegungEinzelrotationssystem, bis zu 120 U/min
Optische ÜberwachungBreitband-VIS/NIR-Spektrometer, vollständig integriertes Design
Mechanische KonstruktionKammertür und Bedienfeld können im Reinraum untergebracht werden
Elektrisches DesignPeripherie-I/O-Klemmen, integriertes Bussystem
KontrollsystemPC/SPS-Steuerung mit HMI-Systemen auf Touchpanel-Display

Systemoptionen

Optische Mo. DUV-UpgradeZusätzliches DUV-Spektrometer, vollständig integriertes Design
Optische Mo. IR-UpgradeZusätzliches IR-Spektrometer, vollständig integriertes Design
Einheitlichkeit mit Maske0,1 % Gleichmäßigkeit mit aufrüstbaren Masken
Überwachung der DickeQuarzkristall-Überwachungssystem optional
Schwerlast-Substrat-UpgradeSchwerlast-Substrathalter (jeweils >200 kg Tragkraft)