Unsere Leistungen
Produkte und Technologien
Key-Features
- Ion Beam Sputtering Deposition
- Stufenlos regelbarer Brechungsindex durch echtes Mischen von zwei Zonentargets
- Bis zu sechs Materialien in einer Beschichtung für innovative Designs
- Höchste Prozesssicherheit und Reproduzierbarkeit > 0,1%
- Optisches Breitbandmonitoring für hochpräzise Dickenkontrolle
- Geringste Streuwerte, Absorption und Defektdichten
- Maximale Umweltstabilität der Beschichtungen
- Sputter-Up Konfiguration
Technologien
Die von CEC entwickelten IBS-Systeme vereinigen jahrzehntelange Erfahrung in der optischen Dünnschichttechnologie mit den besonderen Anforderungen unserer Kunden, die Qualität ihrer Beschichtungen stetig zu verbessern.
Aus dieser Kombination entstehen kundenspezifische Beschichtungsanlagen, die von vollautomatischen Produktionsprozessen für die industrielle Serienproduktion bis hin zu hochspezialisierten funktionellen Schichten für die Forschung alle Möglichkeiten bieten.
Die Gemeinsamkeit aller Systeme liegt in der Verwendung der eigenen CEC-Ionenquellen inkl. Titan-Extraktionsgittersystemen sowie der Möglichkeit auch graduelle Schichtsysteme (sog. Rugatefilter) per automatisiertem Prozess kontrolliert durch ein breitbandiges optisches Monitoringsystem aufzutragen.
Auch das sog. „Sputter-up“-Verfahren, bei dem die Substrate oberhalb des Targets rotieren, ist ein verbindendes Element aller NAVIGATOR-IBS-Anlagen.
Darüber hinaus können viele Ausstattungsmerkmale der Maschinen modular an die spezifischen Wünsche der Kunden angepasst werden. Dies umfasst z.B. mögliche Schleusenkammern für die Substrate, bewegliche sekundäre Ionenquellen oder auch gekühlte bzw. geheizte Substratträger.
Egal welche Anforderung Sie an Ihre IBS-Anlage haben, kontaktieren Sie uns, damit wir gemeinsam die optimale Lösung finden.
Materialmischungen und optisches Breitbandmonitoring
Ein Fachgebiet von CEC ist die Möglichkeit, oxidische Materialmischungen variabler Kompositionen zu beschichten. Diese sind die Voraussetzung für die Erzeugung von verlustarmen Rugate-Filtern. Mit dieser innovativen Prozessvariante können widerstandsfähige Beschichtungen hergestellt werden, die die höchste Qualität unter den Dünnschichten erreicht. Deshalb wird dieses Verfahren bevorzugt für anspruchsvolle Laser-Anwendungen genutzt.
Des Weiteren verfügen CECs Beschichtungssysteme über optisches Breitband-Monitore (BBOM). Hiermit wird sichergestellt, dass die Beschichtungen ausgezeichnete Charakteristika bei maximaler Flexibilität aufweisen.
Unsere Produkte
CEC´s Navigator IBS gibt es in drei verschiedenen Varianten:
- Navigator 1000 – unser Standardsystem – vielfältig anpassbare Konfigurationen für Ihre Anforderungen
- Navigator 1100 LL – die Load-Lock-Konfiguration ist mit ihrer erhöhten Produktivität beliebt bei Industriekunden
- Navigator 2500 – das IBS-Beschichtungssystem für großflächige Substrate und noch mehr Produktivität
Standardkonfigurationen für alle Produkte: Vorpumpe (trockene und ölfrei), Hochvakuumpumpe (Kryopumpe), Ionenquellen, Extraktionsgitter, Stützquellengase, Neutralisation, Targets, Substratbewegung, optisches Monitoring, Rugate-Filter und Gradientenindex-Profil-Fähigkeit, mechanischer Aufbau, elektrischer Aufbau, Kontrollsystem.
Kammervolumen: 1000l
Beschichtungsfläche: Ø 250 mm mit einer Homogenität besser als +/- 0,5 %, ohne Masken
Extraktionsgittersystem: 3 Extraktionsgitter, 8 cm Durchmesser, Output bis zu 2 kV, 250 mA
Assist-Plasmaquelle: RF-gekoppelt (2 MHz), filamentfrei, bis zu 250 mA output
Optionen:
- Load-Lock-System
- mehrere Monitoringsubstrate
- Homogenitätsmasken
- Monitoringerweiterungen (DUV, IR)
- zusätzliche Metrologie
- Substratheizung
- Doppelpaletten: je Ø 250 mm
Anwendung: F&E
Kammervolumen: 1100l
Einheitliche Beschichtungsfläche: Ø 450 mm mit einer Homogenität besser als +/- 0,5 %, ohne Masken
Extraktionsgittersystem: 3 Extraktionsgitter, 15 cm Durchmesser, Output bis zu 2 kV, 750 mA
Assist-Plasmaquelle: RF-gekoppelt (2 MHz), filamentfrei, bis zu 250 mA output
Optionen:
- Load-Lock-System
- mehrere Monitoringsubstrate
- Homogenitätsmasken
- Monitoringerweiterungen (DUV, IR)
- zusätzliche Metrologie
- Substratheizung
- Doppelpaletten: je Ø 350 mm
Anwendung: Produktion
Kammervolumen: 2500l
Einheitliche Beschichtungsfläche: Ø 650 mm mit einer Homogenität besser als +/- 0,5 %, ohne Masken
Extraktionsgittersystem: 3 Extraktionsgitter, 15 cm Durchmesser, Output bis zu 2 kV, 900 mA
Assist-Plasmaquelle: RF-gekoppelt (2 MHz), filamentfrei, bis zu 250 mA Output
Optionen:
- mehrere Monitoringsubstrate
- Homogenitätsmasken
- Monitoringerweiterung (DUV, IR)
- zusätzliche Metrologie
- Substratheizung
- Doppelpaletten: je Ø 650 mm und 200 kg Gewicht
Anwendung: F&E für große Flächen/Optiken; bei hohen Produktionsvolumina