Forschung Projekt

Forschung in Kooperation mit Forschungsinstituten sowie die Weiterentwicklung der Resultate ist eine wichtige Grundlage für die fortschreitende Optimierung und Verbesserung unserer Beschichtungsanlagen.

Die Beteiligung von CEC an den folgenden beispielhaft ausgewählten Projekten verschafft einen Eindruck des Forschungsgebietes unserer Firma.

Neue Projekt

Entwicklung eines In-situ-Uniformitäts-Messgeräts und -Reglers für einen IBS-Prozess zur Verbesserung der Schichtdicken Uniformität

 Ziel des Kooperationsprojekts ist die Entwicklung eines In-situ-Uniformitäts-Messgeräts, das es erlaubt, die in einem IBS-Beschichtungsprozess vorliegende Schichtdickenverteilung fortlaufend prozessbegleitend automatisiert zu bestimmen. Diese Information soll genutzt werden, um die optimale Konfiguration der Beschichtungsanlage für eine sehr gute Uniformität initial schneller und anschließend prozessbegleitend regelmäßig ein- bzw. nachzujustieren, live zu monitorieren und laufend zu dokumentieren.

Darüber hinaus soll ein auf dem Messsystem aufsetzender Regler entwickelt werden, der es erlaubt, die im Prozess bestimmte Schichtdickenverteilung durch Regelung von bestehenden, automatisiert verfahrbaren Freiheitsgraden der Beschichtungsanlage (z.B. Position der zu beschichtenden Optiken, Position von Verteilungsblenden, etc.) während der Beschichtung gezielt derart zu beeinflussen, dass die initial einjustierte optimale Uniformität auch über lange Prozesszeiträume, idealerweise dauerhaft, gehalten werden kann.

Das Projekt wird in Kooperation zwischen der Cutting Edge Coatings GmbH und dem Laser Zentrum Hannover e. V. durchgeführt.

 

 

CELL-UV

Das Ziel dieses Projektes war es, einen kompakten Laser zu entwickeln, der in der Lage ist einen cw Laserstrahl mit über 60 mW Leistung bei 355 nm zu emittieren und dabei weniger als 100 W Leistung verbraucht. Der Laser wird in analytischen Instrumenten und fortgeschrittenen Messsystemen der Biowissenschaft eingebaut werden.

Ein Design für das Extraktionsgitter der RF-Ionenquelle mit kollinearer Lochgitter-Anordnung wurde entwickelt, um die Kontamination des Dünnschicht-Abscheidungsprozesses zu minimieren. CEC fertigte für den Projektpartner - Laser Zentrum Hannover (LZH) - eine Ionenquelle mit optimierter Extraktion. Des Weiteren wurde eine Simulationssoftware entwickelt, durch die die Kontaminationseffekte von verschiedenen Lochgitter-Geometrien untersucht wurden.

Die Entwicklung der kollinearen Lochgitter-Anordnung stellte sich als Erfolg für das Projektziel heraus. Durch den Einsatz des neuen Extraktionsgitters war es möglich, die Kontamination bis unter das relevante Detektionslimit abzuschwächen. Ein so gefertigtes Gittersystem wurde an das LZH geliefert, wo es wiederum auf seine allgemeine Performance und die Kontaminationseffekte untersucht wurde. Die Projektpartner vor Ort bestätigten im Anschluss die erfolgreiche Implementierung des optimierten Systems in ihre Produktion. Auch die Computersimulation mit Hilfe der entwickelten Software war ein Erfolg für das Projekt.

Mehr Informationen zum Projekt CELL-UV

BINGO - Bonding of optical components

In diesem aktuell noch laufendem Forschungsprojekt beteiligt sich CEC am Bonding (Fügen) beliebig beschichteter und unbeschichteter Substratmaterialien in der kontrollierten Umgebung der Vakuumkammer unserer IBS-Anlage. Bonding bedeutet in diesem Zusammenhang die Bildung kovalenter Bindungen zwischen den Substraten. Dies sorgt sowohl mechanisch als auch optisch für eine extrem robuste, zusammengesetzte Probe. Während dieses Prozesses bildet sich keine Zwischenschicht an der Bondingfläche, das heißt die Oberflächen beider Substrate vermischen sich nicht. Dadurch minimiert sich der negative effect des Bondings auf die optischen und thermischen Eigenschaften der Probe. Im Falle des Erfolges dieses Projektes wird man mit unseren IBS-Anlagen nicht nur hochqualitative Beschichtungen erzeugen können. Es können im Anschluss auch komplexe optische Systeme, z.B Hochleistungslasermedien, mit unseren Anlagen gefertigt werden.