离子束溅射镀膜, 薄膜沉积系统, 激光薄膜

科研

与研究机构合作进行的研究以及独立的进一步研发是我们不断优化和提升离子束溅射镀膜系统的重要基础。

Cutting Edge Coatings GmbH (CEC)参加的以下科研项目展示了我们公司的一些研究领域。

新科研项目

研发一种用于IBS工艺的原位均匀性测量装置和控制器,以提高镀膜厚度的均匀性

该合作项目旨在开发一种原位均匀性测量装置,可以连续自动测定IBS镀膜过程中存在的膜层厚度分布。这些信息将被用来调整镀膜系统的最佳配置,以获得非常好的均匀性,最初更快,然后在过程中定期调整,实时监控,并持续记录。

此外,将开发一个基于测量系统的控制器,通过控制现有的、可自动移动的镀膜系统的自由度(如要镀膜的光学器件的位置、分布孔的位置等),使在过程中确定的镀膜厚度分布在镀膜过程中受到明确的影响,从而使最初调整的最佳均匀性也能在长期的过程中保持,最好是永久保持。此项目Cutting Edge Coatings GmbH 和汉诺威激光中心一起研发的。

 

CELL-UV

这个项目的目标是研发一种紧凑激光源,在355nm波段可以发射>60nW的连续波辐射,并且总功耗小于100W。这种激光源将用于生命科学和高级测量的分析一起技术中。

一个用于射频驱动离子源并带有共线网格孔排列的栅网萃取技术,被精心设计以减少在薄膜沉积过程中的污染。一个带有优化萃取技术的辅助离子源被发货给我们项目的合作伙伴-汉诺威激光中心。我们还研发了一个基于物理模型算法的模拟软件用来研究不同网格孔几何形状对污染的影响。

就最初的期望而言,共线网格孔装置的研发证明是完全成功的。通过运用新开发的离子萃取栅网系统,可以将沉积过程中的污染控制在相关的检测极限以下。一套示范栅网系统已集成到LZH的交付中,并对整体性能及其污染趋势进行了评估。合同伙伴确认了在他们生产环境中成功的运用了优化的栅网系统。另外,尽管花费的时间被低估,所以只模拟了选定的几个几何模型,但是电脑模拟的不同栅网口几形状也很成功。

More information about the project

BINGO - Bonding of optical components

在我们最近的并且正在进行的科研项目中,CEC致力于研发在我们设备真空环境下任意邦定镀膜的和没镀膜的基片材料。邦定在这里意思是在基片之间形成共价键,从而形成机械强度高的样品。在此过程中,在接触表面上不会形成中间层,这意味着表面层不会相互混合。这样可以最大程度地减少对样品的光学和热学性质的负面影响。通过这个过程,我们的设备不仅能够做高质量的镀膜,并且在不久的将来能够制造更加复杂的光学薄膜系统,例如,高功率激光媒介。

 

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