Navigator 1100, Navigator 2100, Navigator 1100 Load-lock

Produkt

CEC konzentriert sich auf seine erfolgreiche Produktserie von IBS-Systemen - "NAVIGATOR IBS". Diese Serie zielt darauf ab, die höchstmögliche Qualität beim Beschichtungsprozess zu erzielen. Die Produkte dieser Serie reichen von kleinen manuell gesteuerten Beschichtungsanlagen für die Eigenforschung und - Entwicklung bis hin zu hochkomplexen Systemen mit automatischen Prozeduren für die industrielle Serienproduktion.

CEC's NAVIGATOR IBS gibt es in vier verschiedenen Typen:

NAVIGATOR 2100

NAVIGATOR 1100 Standard

NAVIGATOR 1100 Load-lock

NAVIGATOR 1100 Customized

NAVIGATOR 2100 ist das next-generation IBS-Beschichtungssystem. Sein besonderes Merkmal sind die zwei D600mm Substratpaletten, von denen jeder Substrathalter Substrate tragen kann, die mehr als 100 kg wiegen. Dies macht das Beschichten von großflächigen Substraten möglich und vergrößert die  Produktivität um ein Vielfaches.

NAVIGATOR 1100 Standard ist CECs Standardsystem für IBS-Anlagen, das über eine D400mm Substratpalette in der Beschichtungskammer verfügt. Es ist ausgerüstet mit einem 3-Gitter RF-Ionenquellensystem, Zonentargets für Mischbeschichtungen, einem Hochvakuum-System, einem Kühlwassersystem, einem Schaltschrank und vielem mehr. Die weiteren NAVIGATOR 1100 Systeme bestehen aus diesem Standardsystem mit zusätzlichen Erweiterungen.

 

NAVIGATOR 1100 Load-Lock ist der Star unter den NAVIGATOR 1100 Systemen und beliebt bei Industriefirmen. Mit dem Load-Lock Transfersystem können mehrere Beschichtungsserien hintereinander  gefertigt werden ohne das Belüften der Beschichtungskammer. Dadurch wird eine Menge Zeit und Kosten gespart, was die Produktivität zusätzlich erhöht.

NAVIGATOR 1100 Customized ist ein System, das speziell auf den jeweiligen Kunden zugeschnitten ist. Hierbei können einzelne Komponenten ausgetauscht oder hinzugefügt werden. Es kann beispielsweise die D400mm Substrathalter durch zwei D350mm Substrathalter (PUKI System) ausgetauscht  werden. Außerdem kann eine Uniformitätsmaske und eine Substratheizung integriert werden.  Weitere spezielle Wünsche können gerne auf individueller Basis besprochen werden, denn unser Ziel ist ein zufriedener Kunde.

Die Servicepalette von CEC reicht von der Identifizierung eines geeigneten Beschichtungskonzeptes, dem Möglichkeitsnachweis der gewünschten Beschichtung, der Umsetzung des Gesamtsystems und der Qualifizierung des Prozesses vor Ort beim Kunden.

Beschichtungsprozesse können während der Implementierungsphase mitentwickelt und -qualifiziert werden - immer mit dem Fokus auf die Bedürfnisse des Kunden. CEC und das LZH können spezielle Testaufbauten für die optische Charakterisierung zur Verfügung stellen für z.B. Spektrophotometrie, optische Verluste und LIDT.

 

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