离子束溅射镀膜, 镀膜设备, 沉积系统

产品

Cutting Edge Coatings GmbH 主要产品是 离子束溅射镀膜系统 NAVIGATOR IBS DEPOSITION SYSTEMS,其主要目的在于通过镀膜过程实现最高质量的薄膜。产品系列范围从科研用小型手动控制镀膜设备到工业系列生产的复杂自动化镀膜系统。

CEC 离子束溅射镀膜系统主要有以下四种类型:

NAVIGATOR 2100

NAVIGATOR 1100  标准款

NAVIGATOR 1100 Load-lock

NAVIGATOR 1100  定制款

NAVIGATOR 2100 是新一代离子束溅射镀膜系统。特德独特之处在于可同时配备两个口径为600mm 的工件盘,每个工件盘可承重高达100kg。这将大口径基片镀膜成为现实,并大大提高产能。

NAVIGATOR 1100 标准款是CEC标准型号的镀膜设备,在其真空室内配备一个口径为400mm的工件盘。该型号配备一套3栅栅网射频离子源系统,区域靶材系统使混合镀膜成为可能,一个高真空冷泵系统,一套水冷系统,配电室等等。其他Navigator IBS系统是在此经典款系统之上进行升级的。

 

NAVIGATOR 1100 Load-Lock 是我们的明星产品,在工业领域很受欢迎。采用传输腔系统可以持续不中断的做多炉镀膜产品,期间不用打开镀膜腔室的门,这节省了大量时间,降低了生产成本,进一步提高了产能。

NAVIGATOR 1100 定制款意味着离子束溅射镀膜系统可以根据用户偏好和实际需求来定制。例如,一个口径为400mm标准款的工件盘可以升级成两个口径为350mm的工件盘(PUKI系统)。在真空室中,可以定制提高均匀性的均匀性Mask挡板,以及工件盘加热系统,等等。其他特殊要求可以根据客户需求进行私人定制,因为最大程度的提高客户满意度是我们的目标之一。

CEC公司的产品服务涵盖确定适当的镀膜系统设计,对所需镀膜产品的原理证明,膜系的试镀,以及在客户所在地的质量验证。

我们关注客户实际需求,镀膜工艺可以在膜系镀制过程中进行优化和调整。在CEC和汉诺威激光中心为产品的光学性能提供专业的测试设备,例如光谱仪,光学损耗,激光损伤阈值等等。

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